Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching)
INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
- Număr anunț TED
- 285723-2026
- Autoritate contractantă
- INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
- Stare
- Fără câștigător
- Data publicării
- 27.04.2026
- Termen limită de depunere
- 04.06.2026, ora 15:00
- Valoare estimată
- 491 mii € (2.440.746 RON)
- Tip contract
- Furnizare
- Procedură
- Licitație deschisă
- Cod CPV
- 22520000 – Echipamente de gravură uscată
- Județ
- Ilfov
- Durata contractului
- 14 luni
Descriere
Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching) cu plasmă cuplată inductiv, numit în continuare Sistem de gravură ICP-RIE, va fi utilizat pentru dezvoltarea și fabricarea de micro- și nanostructuri cu aplicabilitate în domenii precum micro- și nanoelectronică, optoelectronică, fotonică, precum și în aplicații de tip senzori. Sistemul trebuie să permită gravura anizotropă, selectivă și reproductibilă a unei game largi de materiale: polimeri (ex: PMMA, SU-8), oxizi metalici (ex: SiO2, Al2O3, HfO2, TiO2, ZnO, CuO), nitruri metalice (ex: AlN, TiN), metale (Cr, Ti) și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție (ex: MoS₂).
Alte licitații ale autorității
- Furnizare de echipamente IT: LOT 1 – Sistem informatic portabil, configurație 1; LOT 2 –Sistem informatic portabil, configurație 2; LOT 3 – Sistem informatic p…Termen expiratpublicată 23.09.2026 · 19 mii € · Computere portabile
- Furnizare de servicii : Analiza multicriterială cu ultrasunete a regimurilor tranzitorii ale eșantioanelor de medii bifazice specifice nanoparticulelor poluanteTermen expiratpublicată 14.09.2026 · 6 mii € · Servicii de cercetare şi de dezvoltare experimentală
- Furnizare de echipamente de laborator: LOT 1- Cuptor de laborator Nabertherm sau echivalent LOT 2 - Etuva cu convectie naturala, Memmert sau echivalent LOT 3 -…Termen expiratpublicată 08.09.2026 · 9 mii € · Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţi…
- Componente de vid: Vane de tip sertar pentru ultravid; Diverse elemente de vid, adaptate pe flanșe de tip Conflat; Joje de presiune; Vane pentru vid ultraînalt…Termen expiratpublicată 02.09.2026 · 54 mii € · Vane glisante
- Spectrometru de masă cuadrupolarTermen expiratpublicată 28.08.2026 · 10 mii € · Spectrometre de masă
- Sistem de caracterizare electrică pentru diode organice electroluminescente (OLED)Atribuităpublicată 21.08.2026 · 71 mii € · Instrumente de măsurare a mărimilor electrice
- Pachet fotolitografieFără câștigătorpublicată 03.10.2025 · 754 mii € · Instrumente optice specializate
- Cameră pentru depunerea de straturi subțiri semiconductoare din nitruri III–V, cu uniformitate foarte bună pe suprafețe de mari dimensiuni, utilizând tehnici d…Atribuităpublicată 03.10.2025 · 392 mii € · Echipamente industriale
Toate licitațiile INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR →